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SCK-480-2100℃ CVD系統

本電爐為周期作業(yè)式,廣泛應用于功能陶瓷,光學(xué)材料,碳復合材料,硬質(zhì)合金,粉末冶金等在高溫真空條件下進(jìn)行燒結處理,也可在充氣保護情況下成型燒結。


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產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品名稱(chēng):2100℃ CVD系統

產(chǎn)品型號:SCK-480-2100

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本電爐為周期作業(yè)式,廣泛應用于功能陶瓷,光學(xué)材料,碳復合材料,硬質(zhì)合金,粉末冶金等在高溫真空條件下進(jìn)行燒結處理,也可在充氣保護情況下成型燒結。

主要特點(diǎn)


1、結構組成

1.爐體                2.爐蓋                 3.爐底                           4.爐架             5.真空系統    

6.溫控系統         7.氣路系統          8.變壓器及聯(lián)接電纜      9.水冷系統      10.發(fā)熱元件及隔熱屏


2、結構說(shuō)明

1、爐體:采用雙層水夾層結構,內層為不銹鋼(1Cr18N9Ti)拋光,外層為優(yōu)質(zhì)碳鋼,上、下法蘭組焊成筒型結構,法蘭平面開(kāi)設密封槽。采用“O”圈真空密封,并設水冷裝置(防止因溫度過(guò)高“O”圈老化)。開(kāi)設有抽氣、熱電偶、紅外孔等。

2、爐蓋:采用雙層夾層封頭結構,設有觀(guān)察孔,屏蔽、鎖緊、開(kāi)啟裝置,并通水冷卻。

3、爐底:同樣采用雙層水夾層封頭結構,設有電極引出裝置,支撐平臺等,并設有水冷裝置。

4、爐架:由型鋼及鋼板組焊成箱式結構,爐體安放在箱體上,美觀(guān)大方。

5、真空系統:由壹臺TK-200擴散泵配冷阱,壹臺VRD-60機械泵、手動(dòng)高真空擋板閥、真空壓力表(±Pa)、充氣閥、放氣閥和真空管路等組成。機械泵采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接(減緩震動(dòng)),真空度的測量采用數顯復合真空計。

6、溫控系統:采用可控制硅控溫,儀表為歐陸溫控表,具有P.I.D調節、超溫聲光報警功能,電器元件采用正泰品牌,電控屏箱按西門(mén)子標準制作,控溫精度高,操作方便。

7、氣路系統:在整個(gè)系統中設有1個(gè)進(jìn)氣口、1個(gè)放氣口,可充氣氛。

8、電氣控制:采用可控硅控溫,配有大電流變壓器、調壓器及溫度控制儀表組成溫度控制執行回路。電路設有斷水、過(guò)流、超溫報警及保護功能。

9、水冷系統:由各種管道閥等相關(guān)裝置組成,具有斷水聲光報警自動(dòng)切斷電源功能。

10、變壓器及聯(lián)接電纜:采用與之相匹配的變壓器及聯(lián)接電纜。

11、發(fā)熱元件及隔熱屏:發(fā)熱元件采用電極石墨加工成圓筒形的結構,隔熱屏采用石墨、碳氈、石墨氈(1層石墨筒,4層碳毪和4層石墨氈,每層厚10mm以上),保溫性能好、加熱均勻、輻射面大、耐熱沖擊性好,可快速加熱和冷卻。保溫層和發(fā)熱分體,易維護和取裝,保溫套外用不銹鋼框架支撐,固定。


技術(shù)參數

SCK

型號

SCK-480-2100

點(diǎn)

該設備可用于做碳沉積之類(lèi)的CVD實(shí)驗,其具有以下優(yōu)點(diǎn)

1、溫度高,可達到2100

2、安全,不會(huì )像管式爐出現斷管子的風(fēng)險

3、腔體大,比管式爐處理的樣品體積大

4、加裝防爆閥,可及時(shí)將腔體內多余氣體排出。

5、采用電容薄膜規測量真空度,測量結果更精準。

若用戶(hù)需要潔凈的環(huán)境,可選購我公司鎢絲爐或鉬絲爐,具體可咨詢(xún)我公司銷(xiāo)售

技術(shù)方案

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1、一個(gè)石墨桶放在加熱區內,石墨桶內有兩個(gè)(也可定制其它數量)放物料的支架

2、氣體由下方進(jìn)氣口進(jìn)入石墨桶內,經(jīng)過(guò)物料架,在襯底材料表面經(jīng)過(guò)化學(xué)反應形成固體沉積物,多余的氣體經(jīng)上方排氣口排出。

最大功率

48KW

電源

三相 380V  50/60Hz

最高加熱溫度

2100

控溫模式

歐陸  3204   智能PID  5×16段程序控溫

加熱碳管尺寸(mm)

Dia200(內徑)×320

有效加熱尺寸(mm)

 Dia160×160

腔體真空度(擴散泵機組)

< 5×10 -3Pa

腔體充氣壓力

< 0.05MPa

升壓率

<4Pa/小時(shí)

斷偶保護和顯示

過(guò)溫保護

過(guò)流保護

欠壓保護(水壓)

控制精度

+/-  1

溫度檢測方式

鎢套管鎢錸熱電偶

最大升溫速率

< 20/min

真空腔體內是否水冷

觀(guān)察窗尺寸

Dia 90mm

外形尺寸

1.85*1.6*2

 防爆系統 

 防爆系統由壓力變送器和防爆閥組成

壓力傳感器,可在壓力控制表上設置報警壓力,當爐管內壓力大于等于設定的報警壓力時(shí),防爆系統會(huì )自動(dòng)啟動(dòng),并放出爐管內多余的氣體。

防爆電磁閥由兩個(gè)方向相反的單向閥組成,無(wú)論是真空還是氣氛下都可以關(guān)的很好,不漏氣,不回流。


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               壓力變送器                                                 防爆閥


冷水機(選配)

8P

 

 

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40×1000

真空擋板閥

KF40

 前級真空泵

VRD-60

功率

2.5KW

電壓

380V

轉速

1450rpm

進(jìn)氣口徑

 KF25/KF40

前機泵抽氣速率(L/S

15

極限壓強

4×10 -2Pa

擴散泵TK200

電壓

220V

功率

2000W

進(jìn)氣接口

DN200

出氣接口

DN40

注入油量

0.4L

抽氣速率(N2

2000L/S

復合真空計

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復合真空計型號

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

真空計測量范圍

10-5 -10 Pa

      

GX

 

 



                        質(zhì)量流量計



量程和氣體

5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類(lèi)型)

耐壓

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)壓力

0.3MPa

線(xiàn)性

±0.5%F.S.

重復精度

±0.2% F.S

 路數

1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)  

接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

系統工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa      0.01MPa/

靜態(tài)混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

      冷水機

 

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電源

3PH-380V/50HZ

制冷量

18.3*103kcal/h

輸入總功率

12KW

揚程

50M

流量

12m3/h

水箱容量

130L

外形尺寸

730×1335×1415

 凈重

285KG 

 

免責聲明

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